愛德華螺桿干式泵由于其*的性能,在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導體、制藥、精密加工等行業(yè)真空獲得設備,日本在螺桿壓縮機基礎上,很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉子型線,并投入市場。德國幾家真空設備公司也逐步的開發(fā)出了等螺距、變螺距轉子型線,并在轉子和機體冷卻方面做了很多研究螺桿泵的技術關鍵問題
愛德華螺桿干式泵是一種容積泵,應用一對螺桿轉子在泵殼中作同步高速反向旋轉而產(chǎn)生吸氣和排氣作用,主要應用于高純潔的真空工藝過程,真空度*,可順應惡劣工況,具有抽取凝性、含顆粒物氣體的才能,特別適用于電子、化工、生物醫(yī)藥、金屬加工、食品加工等范疇。
愛德華螺桿干式泵工作時,由于兩個轉子相對高速轉動,轉子與轉子之間以及轉子與泵腔之間必需留有一定的間隙以免發(fā)作摩擦。而螺桿真空泵在運用過程中,排氣溫度十分高,這也招致了螺桿真空泵的溫度十分高,形成轉子和機殼變形,轉子與轉子之間以及轉子與泵腔之間的間隙會產(chǎn)生變化,影響抽氣效果,嚴重的會使其發(fā)作摩擦,最后燒結卡殼。
與現(xiàn)有技術相比,愛德華螺桿干式泵具有以下優(yōu)點:
1、螺桿轉子與螺桿轉子之間以及螺桿轉子與殼體之間的間隙沿進氣端到排氣端的方向依次減小,使螺桿轉子穩(wěn)定工作后有足夠的收縮空間,防止螺桿轉子卡殼,而且收縮后它們的間隙更小,氣體的走漏量更少,抽真空效果更好。
2、螺桿轉子采用螺紋小徑均相同,螺紋大徑沿進氣端到排氣端方向依次減小的設計,既降低了螺桿轉子的加工難度,降低了消費本錢,而且在穩(wěn)定工作時,螺桿轉子之間的間隙更小更平均,減少了氣體走漏。